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Both-Side Drilling Machine(雙面鑽孔機)

ANT-BSSD500

ANT-BSSD500

Both-Side Drilling Machine(雙面鑽孔機)

全球首創雙主軸同步微孔鑽孔機。兩根主軸從工件兩面同時鑽削——消除傳統鑽孔中因翻轉工件而產生的同心度缺陷

  • 01雙面同時鑽孔——同心度控制在20㎛以內
  • 02水平式結構——切屑自然排出,長徑比L/D 30
  • 03生產效率提升2~3倍(對比立式機型)——延長無人值守執行時間
≤ 20 ㎛同心度
L/D 30最大長徑比
Ø 0.30 mm最小直徑
韓國專利第10-1579164號
PRODUCT VIDEO

ANT-BSSD500 產品介紹

ANT-BSSD500 Production Line
PRODUCTION FACILITY

昌原工廠 自主生產製造

多臺ANT-BSSD500正在生產線上同時運轉。每臺裝置的設計、製造、組裝與測試,全程由總部獨立完成——任何環節均無外包。設計您機器的工程團隊,正是交付後為您提供售後支援的同一團隊。

Precision Machining Floor
QUALITY CONTROL

生產、測試與品管 一站式完成

從原料鑄造到最終校準——每一道工序均在我們的工廠內完成。精密加工、電氣組裝、CNC控制器整合、主軸校準以及完整的功能測試,均在裝置出廠前全部完成。

DIFFERENTIATION

兩項工程創新 重新定義鑽孔加工

雙面同步鑽孔與水平式結構,同時提升加工品質、可加工性與生產效率。

01

雙面同時鑽孔

消除工件翻轉工序——傳統鑽孔中同心度誤差的最大來源。

BEFORE

單向鑽孔方式

  • 先鑽削一面,再翻轉重新裝夾,分兩步完成加工
  • 翻轉過程中產生間距誤差與同心度缺陷
  • 總加工週期延長,操作員介入推高人工成本
  • 對位誤差導致良品率下降
AFTER

雙面鑽孔方式

  • 雙主軸從兩面同時鑽孔——無需翻轉
  • 同心度始終控制在20㎛以內
  • 即便裝置發生間距誤差,孔加工品質仍得以保持
  • 延長無人值守執行時間——良品率更高、產量更大
02

水平式加工結構

水平方向的孔軸使切屑得以自然排出——實現真正深孔鑽孔的關鍵所在。

BEFORE

立式機型

  • 重力使切屑堆積於孔內
  • 冷卻液流量受阻——存在鑽頭折斷風險
  • 深孔加工能力存在硬性上限
AFTER

水平式機型

  • 切屑藉助重力水平方向排出——鑽頭得到保護
  • 相同切削條件下生產效率1.5~2倍
  • 採用最佳化加工配方後生產效率2~3倍
ANT-BSSD500 Close-Up
PRECISION IN EVERY DETAIL

設計、製造、測試 全程自主

每一臺ANT-BSSD500均在昌原總部全程自主完成——從機械設計、控制系統整合,到最終組裝、校準與品質測試,皆由本廠獨立完成。

MATERIAL

可加工 哪些材料?

專門用於硬度1,000 Hv以上難加工脆性材料的孔加工。
基於金剛石刀具的精密加工技術,最大限度減少崩邊與微裂紋。

Si

單晶矽

Single Crystal Silicon

硬度 ~1,200 Hv
AlN

氮化鋁

ESC & Heater Substrate

ESC · 加熱器材料
SiO₂

熔融石英 / 石英

Chamber Components

硬度 ~1,100 Hv

同時適用於:多晶矽 · SiC · 氧化鋁陶瓷 · 石墨 · 藍寶石

APPLICATION

哪些半導體零部件 需要孔加工?

幹法蝕刻、CVD、ALD腔體中的耗材零部件含有數百至數千個精密孔。ANT-BSSD500正是為這類微孔加工而設計。

CORE

矽電極

SILICON ELECTRODE

幹法蝕刻腔體內的等離子體生成電極。需在兩面加工數百至數千個貫通孔。

CORE

噴淋頭

SHOWER HEAD

CVD/ALD腔體的氣體分配部件。需要高精度孔陣列以實現均勻氣流分佈。

CORE VALUE

一項專利 三大可量化成效

雙面同時鑽孔與水平式結構均受新漢奈米科技專利保護——直接轉化為加工品質、可加工性與生產效率的全面提升。

01 / QUALITY
0
孔與孔之間同心度
品質
PRECISION
  • 工件全範圍內同心度控制在20㎛以內
  • 工件翻轉工序消除——誤差來源從根源上消除
  • 即便裝置存在間距誤差,孔加工品質仍得以保持
02 / MACHINABILITY
0L/D
最大長徑比
可加工性
DEEP-HOLE
  • 專為深孔鑽孔設計——Ø0.35 mm及以上經過驗證
  • 各鑽頭直徑的孔加工壽命測試已完成——可靠性獲得驗證
  • 生產環境驗證長徑比L/D 高達30
03 / PRODUCTIVITY
0×
生產效率(對比立式機型,最佳化後)
生產效率
THROUGHPUT
  • 相同切削條件下生產效率1.5~2倍
  • 採用水平式結構最佳化加工配方後生產效率2~3倍
  • 延長無人值守執行時間——直接降低人工成本
SPECIFICATIONS

技術 規格

韓國專利第10-1579164號。標準規格——可定製設計。

裝置容量
最大行程 (X, Y, Z1, Z2 軸)480 × 480 × 140 × 140 mm
最大速度 — X, Y 軸6 m/min
最大速度 — Z1, Z2 軸8 m/min
工件尺寸最大 Ø400 mm, 最大 t 20.0 mm
進給單元
Z1, Z2 軸電機1.4 kW 交流伺服電機
X, Y 軸電機2 kW 交流伺服電機 (帶制動)
主軸單元 (德國 FISCHER)
R.P.M.4,000 ~ 25,000 RPM
刀柄HSK-E25
輸出功率1 kW
鑽頭直徑範圍 (PCD)最小 Ø0.30 mm ~ 最大 Ø3.0 mm
換刀方式刀柄 — 手動換刀
冷卻液
油箱 · 泵220 ℓ, 30 ℓ/min
主軸冷卻單元2,500 kcal
控制器
CNC 控制器FANUC-OiMF-PLUS
輔助設施
主電源220 V ± 10 V
壓縮空氣 (乾燥潔淨空氣)5 ± 0.5 bar, 120 ℓ/min
環境溫度22 ~ 26 °C / 溼度 ≤ 60%
佔地面積
裝置尺寸 (W × L × H)1,900 × 2,900 × 2,700 mm
安裝空間3,200 × 4,200 × 3,000 mm
重量6,200 kg

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